基础信息

生产国家：中国

制造厂商：成都兴南科技有限公司

购置日期：2015年10月

规格型号：ZZS550-2/G

附加信息

主要规格/技术指标:

极限真空度：2.5×10-4 Pa；保真空度：≤5×10-1 Pa；电子枪功率：6KW／支；

主要功能及特色：

用于在4英寸圆晶上生长金属薄膜以及化合物半导体等